Ва'куумные материа'лы, материалы, применяемые в вакуумных аппаратах и приборах. Основные требования, предъявляемые к В. м., — низкое давление пара при рабочих температурах и возможность лёгкого обезгаживания. В. м. для оболочек вакуумных приборов, кроме того, должны быть мало газопроницаемы. Давление пара, газоотделение и газопроницаемость В. м. — основные свойства, определяющие верхний предел достижимого вакуума и возможность его сохранения в течение продолжительного времени. Другие требования к В. м. определяются областью их применения (см. Вакуумная техника ). Например, материалы для вакуумных ламп должны обладать достаточной прочностью при высоких температурах и быть хорошими изоляторами или, наоборот, проводниками.
В. м. можно подразделить на следующие основные группы: конструкционные материалы, геттеры (газопоглотители), вакуумные масла и материалы, применяемые как рабочие жидкости насосов и вакуумметров (например, ртуть), замазки, смазки, лаки и цементы. Некоторые свойства важнейших конструкционных В. м. приведены в табл. 1—3.
Табл. 1. — Неорганические конструкционные материалы
Материалы | Температура при давлении паров 1,3 мн/м» ( 10 -5 мм рт. ст. ) , °С | Температурный коэфф. линейного расширения в интервале от 0 до 100°С (a•10 7 ),°С -1 | Температура плавления, °С |
Металлы Алюминий | 841 | 238 | 658 |
Вольфрам | 2564 | 44 | 3410 |
Железо | 1083 | 119 | 1535 |
Медь | 934 | 165 | 1083 |
Молибден | 1955 | 55 | 2625 |
Никель | 856 | 133 | 1452 |
Палладий | 1157 | 116 | 1554 |
Платина | 1585 | 90 | 1773,5 |
Серебро | 751 | 189 | 960,5 |
Тантал | 2402 | 65 | 2996 |
Титан (иодидный) | 1336 | 81(20—200°C) | 1725 |
Цирконий (иодидный) | 1836 | 54(20—200°C) | 1845 |
Сплавы Латунь Л-68 | — | 184 | 938 |
Монель | — | 137 | 1250 |
Нихром | — | 125 | 1400 |
Фернико (ковар) | — | 45—55 (20—300°C) | 1450 |
Сталь нержавеющая 1Х18Н9 (ЭЯ-1) | — | 160 | 1400 |
1Х18Н9Т (ЭЯ-1Т) | — | 160 | 1450 |
Различные материалы Электрографит | 2129 | 8—18 (продоль | 3800—3900 |
Слюда (мусковит) | — | ный) 30 | 1300 |
Кварц плавленый | — | 5 | 1700 |
Стекло | — | 30—120 | — |
Керамика Глинозёмистая Магнезиальная | — — | 46—70 (20—100°C) 70—80 (20—100°C) | 2000 1600 |
Табл. 2.—Органические конструкционные материалы
Материал | Скорость газоотделения при t 20°С | Коэффициент газопроницаемости при t 20°С | |||||
м 3 •м сек•м 2 •н/м | cм 3 • см сек•см 2 кгс/см 2 | ||||||
н•м/ ( м 2 •сек ) | л•мм рт. ст. • 10 -3 сек см 2 | ||||||
гелий | азот | гелий | азот | ||||
Резина на основе натурального каучука НК | (5—8) • 10 -6 | (4—6)•10 -6 | 1,3•10 -16 | 2,3•10 -17 | 1,3•10 -7 | 2,3 • 10 -8 | |
Резина на основе синтетического нитрильного каучука СКН-26 | (3—4) • 10 -5 | (2—3)•10 -5 | 5,2•10 -17 | 2,5•10 -18 | 5,2•10 -8 | 2,5•10 -9 | |
Резина на основе синтетического нитрильного каучука СКН—40 | (3—4) • 10 -5 | (2—3)•10 -5 | 3,6•10 -12 | 3,9•10 -18 | 3,6•10 -8 | 3,9•10 -9 | |
Резина на основе поливинилсилоксанового каучука СКТВ-1 | (1—3) • 10 -5 | (1—2)•10 -5 (250°С) | — | 2,0•10 -15 (25°С) | — | 2.0•10 -6 (25°C) | |
Фторопласт-4 | (4—7) • 10 -7 | (3—5)•10 -7 (150—250°С) | 2,3•10 -16 | 8,4•10 -18 | 2,3•10 -7 | 8,4•10 -9 | |
Полиэтилен | (7—13) • 10 -7 | (5—10)•10 -7 | 2,5•10 -17 | 2,5•10 -18 | 2,5•10 -8 | 2,5•10 -9 | |
Полиэтилентерефталат | (3—7) • 10 -8 | (2—5)•10 -8 | 7,2•10 -18 | 2,7•10 -20 | 7,2•10 -9 | 2,7•10 -11 | |
Эпоксидная смола ЭД-5, отверждённая по-лиэтиленполиамином | (3—7) • 10 -4 | (2—5)•10 -4 (60°С) | 1,0•10 -17 | — | 1,0•10 -8 | — |
Табл. 3.—Вакуумны е смазки, замазки, лаки и цементы
Материал | Давление паров при t 20°С | t пл ,°С | Макс. рабочая темп-ра, °С | Назначение | |
н/м 2 | мм рт. ст. | ||||
Смазки Высоковакуумная | 10 -4 | 10 -6 | —40 до +200° | Уплотнение кранов и пришлифованных соединений | |
Лубрисил | 10 -3 | 10 -5 | 40 | То же | |
Рамзая | 10 -2 | 10 -4 | 30 | » | |
Апиезон | 10 -1 | 10 -3 при 200°С | 43 | 30 | » |
» | 10 -8 | 10 -10 | 47 | — | Пришлифовка соединений с тугой посадкой |
Замазки Пицеин | 10 -5 | 10 -7 | 40 | Уплотнение стеклянных и металлич. шлифов | |
Денисона | 10 -3 | 10 -5 | 60 | ||
Смесь пчелиного воска с каучуком | 10 -1 —10 -2 | 10 -3 —10 -4 | 60 | — | |
Апиезон | 10 -1 | 10 -3 | 45; 85 | — | Уплотнение постоянных соединений |
Менделеева | — | — | — | 50 | |
Цемент Хотинского | 10 -1 | 10 -3 | 40 | Для цоколёвки ламп | |
Глипталевый лак | 3—10 -2 | 2 . 10 -4 | 200 | Заделка царапин, покрытие поверхностей |
Металлы идут на изготовление корпусов, насосов, вентилей, оболочек, электродов, газопоглотителей. Стекло — основной материал для колб, трубок, ламп и т.п. Из синтетических материалов (полиэтилен, политерафторэтилен, полиамид и др.) и резины изготовляют трубки, прокладки и т.п. Вакуумные смазки и замазки служат для уплотнения разъёмных и постоянных соединений. Лаки применяют для заделки царапин, покрытия поверхностей, цементы — для цоколёвки ламп.
Лит.: Балицкий А. В., Технология изготовления вакуумной аппаратуры, 2 изд., М. — Л., 1966; Лебединский М. А., Электровакуумные материалы, 2 изд., М. — Л., 1966.
Е. Н. Мартинсон, Е. Г. Плещенко.