Ва'куумные материа'лы, материалы, применяемые в вакуумных аппаратах и приборах. Основные требования, предъявляемые к В. м., — низкое давление пара при рабочих температурах и возможность лёгкого обезгаживания. В. м. для оболочек вакуумных приборов, кроме того, должны быть мало газопроницаемы. Давление пара, газоотделение и газопроницаемость В. м. — основные свойства, определяющие верхний предел достижимого вакуума и возможность его сохранения в течение продолжительного времени. Другие требования к В. м. определяются областью их применения (см. Вакуумная техника ). Например, материалы для вакуумных ламп должны обладать достаточной прочностью при высоких температурах и быть хорошими изоляторами или, наоборот, проводниками.

  В. м. можно подразделить на следующие основные группы: конструкционные материалы, геттеры (газопоглотители), вакуумные масла и материалы, применяемые как рабочие жидкости насосов и вакуумметров (например, ртуть), замазки, смазки, лаки и цементы. Некоторые свойства важнейших конструкционных В. м. приведены в табл. 1—3.

  Табл. 1. — Неорганические конструкционные материалы

Материалы Температура при давлении паров 1,3 мн/м» ( 10 -5 мм рт. ст. ) , °С Температурный коэфф. линейного расширения в интервале от 0 до 100°С (a•10 7 ),°С -1 Температура плавления, °С
Металлы Алюминий 841 238 658
Вольфрам 2564 44 3410
Железо 1083 119 1535
Медь 934 165 1083
Молибден 1955 55 2625
Никель 856 133 1452
Палладий 1157 116 1554
Платина 1585 90 1773,5
Серебро 751 189 960,5
Тантал 2402 65 2996
Титан (иодидный) 1336 81(20—200°C) 1725
Цирконий (иодидный) 1836 54(20—200°C) 1845
Сплавы Латунь Л-68 184 938
Монель 137 1250
Нихром 125 1400
Фернико (ковар) 45—55 (20—300°C) 1450
Сталь нержавеющая 1Х18Н9 (ЭЯ-1) 160 1400
1Х18Н9Т (ЭЯ-1Т) 160 1450
Различные материалы Электрографит 2129 8—18 (продоль 3800—3900
Слюда (мусковит) ный) 30 1300
Кварц плавленый 5 1700
Стекло 30—120
Керамика Глинозёмистая Магнезиальная — — 46—70 (20—100°C) 70—80 (20—100°C) 2000 1600

  Табл. 2.—Органические конструкционные материалы

Материал Скорость газоотделения при t 20°С Коэффициент газопроницаемости при t 20°С
м 3 •м сек•м 2 •н/м cм 3 • см сек•см 2 кгс/см 2
н•м/ ( м 2 •сек ) л•мм рт. ст. • 10 -3 сек см 2
гелий азот гелий азот
Резина на основе натурального каучука НК (5—8) • 10 -6 (4—6)•10 -6 1,3•10 -16 2,3•10 -17 1,3•10 -7 2,3 • 10 -8
Резина на основе синтетического нитрильного каучука СКН-26 (3—4) • 10 -5 (2—3)•10 -5 5,2•10 -17 2,5•10 -18 5,2•10 -8 2,5•10 -9
Резина на основе синтетического нитрильного каучука СКН—40 (3—4) • 10 -5 (2—3)•10 -5 3,6•10 -12 3,9•10 -18 3,6•10 -8 3,9•10 -9
Резина на основе поливинилсилоксанового каучука СКТВ-1 (1—3) • 10 -5 (1—2)•10 -5 (250°С) 2,0•10 -15 (25°С) 2.0•10 -6 (25°C)
Фторопласт-4 (4—7) • 10 -7 (3—5)•10 -7 (150—250°С) 2,3•10 -16 8,4•10 -18 2,3•10 -7 8,4•10 -9
Полиэтилен (7—13) • 10 -7 (5—10)•10 -7 2,5•10 -17 2,5•10 -18 2,5•10 -8 2,5•10 -9
Полиэтилентерефталат (3—7) • 10 -8 (2—5)•10 -8 7,2•10 -18 2,7•10 -20 7,2•10 -9 2,7•10 -11
Эпоксидная смола ЭД-5, отверждённая по-лиэтиленполиамином (3—7) • 10 -4 (2—5)•10 -4 (60°С) 1,0•10 -17 1,0•10 -8

  Табл. 3.—Вакуумны е смазки, замазки, лаки и цементы

Материал Давление паров при t 20°С t пл ,°С Макс. рабочая темп-ра, °С Назначение
н/м 2 мм рт. ст.
Смазки Высоковакуумная 10 -4 10 -6 —40 до +200° Уплотнение кранов и пришлифованных соединений
Лубрисил 10 -3 10 -5 40 То же
Рамзая 10 -2 10 -4 30 »
Апиезон 10 -1 10 -3 при 200°С 43 30 »
» 10 -8 10 -10 47 Пришлифовка соединений с тугой посадкой
Замазки Пицеин 10 -5 10 -7 40 Уплотнение стеклянных и металлич. шлифов
Денисона 10 -3 10 -5 60
Смесь пчелиного воска с каучуком 10 -1 —10 -2 10 -3 —10 -4 60
Апиезон 10 -1 10 -3 45; 85 Уплотнение постоянных соединений
Менделеева 50
Цемент Хотинского 10 -1 10 -3 40 Для цоколёвки ламп
Глипталевый лак 3—10 -2 2 . 10 -4 200 Заделка царапин, покрытие поверхностей

  Металлы идут на изготовление корпусов, насосов, вентилей, оболочек, электродов, газопоглотителей. Стекло — основной материал для колб, трубок, ламп и т.п. Из синтетических материалов (полиэтилен, политерафторэтилен, полиамид и др.) и резины изготовляют трубки, прокладки и т.п. Вакуумные смазки и замазки служат для уплотнения разъёмных и постоянных соединений. Лаки применяют для заделки царапин, покрытия поверхностей, цементы — для цоколёвки ламп.

  Лит.: Балицкий А. В., Технология изготовления вакуумной аппаратуры, 2 изд., М. — Л., 1966; Лебединский М. А., Электровакуумные материалы, 2 изд., М. — Л., 1966.

  Е. Н. Мартинсон, Е. Г. Плещенко.